普通超纯水的焦点局部都是反渗入体系,在肯定了水源以后挑选适合的反渗入膜。按照水源硬度等肯定利用两级RO+离子互换体系仍是挑选 RO+阴阳床+离子互换体系。而后按照水源的特征肯定反渗入之前预处置体系(超滤、M...
普通超纯水的焦点局部都是反渗入体系,在肯定了水源以后挑选适合的反渗入膜。按照水源硬度等肯定利用两级RO+离子互换体系仍是挑选 RO+阴阳床+离子互换体系。而后按照水源的特征肯定反渗入之前预处置体系(超滤、MF、AC等)。
要点:反渗入是制取纯水的焦点装备,若何运转好反渗入关头在于预处置,只要严酷节制好RO体系进水目标,RO体系能力安稳运转。
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中文名 | 大流量完美体育app | 长 度 | 1016mm |
外文名 | Large flow filter | 外 径 | 152mm-161mm |
任务压差 | ≤0.245MPA | 过滤比 | β≥1000 |
流 量 | 70m³/h | 结 构 | 导流层、支持层、过滤层 |
寿 命 | 3-6个月 | 毗连体例 | 超声波热熔 |
密 封 | 丁晴橡胶 | 精度规模 | 1-50微米 |
在半导体产物的制作进程中,因为出产装备的精度和出产工艺的庞杂性,对其配套举措办法提出了很高的请求,特别是作为半导体行业血液的超纯水体系。半导体行业超纯水的制作进程能够归纳综合为四个局部,即预处置局部、反渗入局部、电去离子局部和抛光混床局部。在一些半导体工场中,“负床和正床”也用来取代电去离子装配,首要是按照原水水质和出产水水质对弱电解质的请求。
产物上风
防止了传统离子再生耗损大批的酸碱,对情况加倍友爱;
降服了传统离子装备再生周期较长的题目;
超滤反洗排水、一级反渗入浓水排水和CEDI浓水排水及其回用办法有益于节能减排;
节俭水资本和半导体制作单元的经营本钱。
产物利用
预处置局部
多介质过滤器活性炭过滤器
粗滤器超滤装配
反渗入局部
逆渗入膜
电去离子局部
电子数据互换模块和电子数据互换模块
抛光混床
超纯水体系工艺流程
1、预处置体系→反渗入体系→中间水箱→粗夹杂床→精夹杂床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→紧密过滤器→用水工具(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
2、预处置→反渗入→中间水箱→水泵→EDI装配→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm紧密过滤器→用水工具(≥18MΩ.CM)(新工艺)
3、预处置→一级反渗入→加药机(PH调理)→中间水箱→第二级反渗入(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装配→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm紧密过滤器→用水工具(≥17MΩ.CM)(新工艺)
4、预处置→反渗入→中间水箱→水泵→EDI装配→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm紧密过滤器→用水工具(≥15MΩ.CM)(新工艺)
5、预处置体系→反渗入体系→中间水箱→纯水泵→粗夹杂床→精夹杂床→紫外线杀菌器→紧密过滤器→用水工具(≥15MΩ.CM)(传统工艺)